सेमीकंडक्टर निर्माण के लिए नाइट्रोजन संपीड़न
उच्च शुद्धता वाली नाइट्रोजन उत्पादन के बाद दूषित हो सकती है; कंप्रेसर का चयन करते समय गैस के पूरे मार्ग में नमी, हाइड्रोकार्बन, कण और सतह की स्वच्छता की सीमाओं का ध्यान रखना आवश्यक है।
सेमीकंडक्टर नाइट्रोजन सेवा में संदूषण नियंत्रण पर विशेष जोर दिया जाता है क्योंकि यह गैस ड्राई कैबिनेट, पर्ज टूल, प्रोसेस इक्विपमेंट, एबेटमेंट या यूटिलिटी कार्यों में सहायक होती है, जहां नमी, कण या हाइड्रोकार्बन की थोड़ी मात्रा भी मायने रखती है। इसलिए, नाइट्रोजन कंप्रेसर का मूल्यांकन केवल एक दबाव स्रोत के रूप में नहीं, बल्कि एक योग्य गैस वितरण प्रणाली के हिस्से के रूप में किया जाना चाहिए। उपयोग बिंदु पर संदूषण बजट से शुरुआत करें और पहचानें कि किन उपयोगकर्ताओं को वास्तव में उच्चतम ग्रेड की आवश्यकता है। फिर कंप्रेसर के गैस-साइड निर्माण, सील व्यवस्था, कूलिंग, रिसीवर, फिल्टर, स्टेनलेस ट्यूबिंग, सफाई विधियों और रखरखाव नियंत्रणों की समीक्षा करें। दबाव संरचना को अनावश्यक उच्च दबाव वाली सतहों के निर्माण से बचना चाहिए जिन्हें साफ करना या उनकी गुणवत्ता की जांच करना मुश्किल हो। गैस मार्ग खोलने वाले किसी भी रखरखाव के बाद, सफाई बहाल करें और महत्वपूर्ण उपयोगकर्ताओं को सेवा में वापस लाने से पहले नमी, ऑक्सीजन, कणों और अन्य निर्दिष्ट संदूषकों की जांच करें।
संदूषण-नियंत्रण संबंधी शर्तें
- अति-स्वच्छ गैस पथ
- गैस के संपर्क में आने वाली सतहों और घटकों का एक नियंत्रित समूह, जिसे कठोर संदूषण सीमाओं को पूरा करने के लिए चुना, साफ किया, इकट्ठा किया और रखरखाव किया जाता है।
- कण नियंत्रण
- पाइपिंग, वाल्व, सील, फिल्टर, निर्माण या रखरखाव के कारण उत्पन्न ठोस संदूषण को रोकने और हटाने के उपाय।
- नमी नियंत्रण
- प्रक्रिया सीमा से नीचे जल वाष्प को बनाए रखने के लिए सुखाने, सतह की कंडीशनिंग, शुद्धिकरण और निगरानी जैसी प्रक्रियाओं का उपयोग किया जाता है।
- हाइड्रोकार्बन संदूषण
- कंप्रेसर सिस्टम, असेंबली सामग्री या पिछली सर्विस से तेल, ग्रीस, सॉल्वेंट अवशेष या कार्बनिक वाष्प प्रवेश कर सकते हैं।
- स्टेनलेस ट्यूबिंग
- उच्च शुद्धता वाली गैसों के वितरण में आमतौर पर उपयोग की जाने वाली, साफ करने योग्य और संक्षारण प्रतिरोधी ट्यूबिंग, जहां सतह की स्थिति और जोड़ने की प्रक्रिया नियंत्रित होती है।
- उपयोग बिंदु निस्पंदन
- केंद्रीय उपचार के बाद उत्पन्न होने वाले कणों को पकड़ने के लिए संवेदनशील उपकरणों के पास एक अंतिम निस्पंदन अवरोध का उपयोग किया जाता है।
1. स्रोत से उपकरण तक संदूषण बजट आवंटित करें
उपयोग के प्रत्येक महत्वपूर्ण बिंदु पर आवश्यक नमी, ऑक्सीजन, हाइड्रोकार्बन और कण स्थितियों की सूची बनाएं। फिर उत्पादन, संपीड़न, भंडारण, वितरण और अंतिम फ़िल्टर के लिए स्वीकार्य जोखिम की मात्रा निर्धारित करें। इससे कंप्रेसर विनिर्देश के कारण संपूर्ण गुणवत्ता बजट खर्च होने से बचा जा सकेगा, जबकि डाउनस्ट्रीम रिसीवर और वाल्व अनियंत्रित रहेंगे। जहां विभिन्न उपकरणों की आवश्यकताएं अलग-अलग हों, वहां प्रत्येक उपयोगकर्ता पर सबसे कठोर नियम लागू करने के बजाय अलग-अलग दबाव या पॉलिशिंग शाखाओं पर विचार करें।
परियोजना के निर्माण से पहले नमूना लेने के स्थानों को निर्धारित करें। उत्पादन के बाद एक बिंदु, संपीड़न के बाद दूसरा बिंदु और प्रतिनिधि वितरण बिंदु समस्या निवारण को संभव बनाते हैं। मध्यवर्ती डेटा के बिना, असफल अंतिम नमूना कंप्रेसर की समस्या को गीले पाइप, गंदे रिसीवर या उपयोग स्थल पर संदूषण से अलग नहीं कर सकता।
2. कंप्रेसर गैस पथ का चयन करें जो हाइड्रोकार्बन जोखिम के अनुरूप हो।
सख्त हाइड्रोकार्बन सीमा वाले अनुप्रयोगों के लिए, यह आकलन करें कि क्या स्नेहक सिलेंडरों, सीलों, दूरी वाले पुर्जों, वेंट, कूलरों या सहायक प्रणालियों के माध्यम से प्रक्रिया गैस के संपर्क में आ सकता है या उसमें प्रवेश कर सकता है। तेल-मुक्त संपीड़न एक प्रमुख स्रोत को दूर कर सकता है, लेकिन यह सत्यापित करें कि चयनित डिज़ाइन के लिए उपकरण आपूर्तिकर्ता का तेल-मुक्त से क्या तात्पर्य है। सामान्य संचालन स्नेहक मार्गों की तरह ही कमीशनिंग परिरक्षकों और रखरखाव सामग्रियों की सावधानीपूर्वक समीक्षा करें।
जहां चिकनाई युक्त मशीन का उपयोग किया जाता है, वहां डाउनस्ट्रीम पृथक्करण और निगरानी का भार निर्णय का एक महत्वपूर्ण हिस्सा बन जाता है। यह मानकर न चलें कि फ़िल्टर हर लोड, गड़बड़ी या तत्व-विफलता की स्थिति में ट्रेस-हाइड्रोकार्बन सीमा की गारंटी दे सकता है। कंप्रेसर तकनीक का चयन करते समय प्रक्रिया संदूषण जोखिम और प्रमाणित उपचार क्षमता का उपयोग करें।
खरीद प्रक्रिया में सामंजस्य स्थापित करने के लिए, यहां वर्णित आवश्यकता की तुलना साइट की आवश्यकताओं से करें। सेमीकंडक्टर निर्माण के लिए नाइट्रोजन कंप्रेसर किसी सामान्य कंप्रेसर रेटिंग पर निर्भर रहने के बजाय, यह एक वैकल्पिक रेटिंग प्रदान करता है। यहाँ क्रॉस-चेक नाइट्रोजन संपीड़न सेमीकंडक्टर निर्माण में संदूषण नियंत्रण संबंधी विचारों से जुड़ा है।
3. सतहों, शीतलन और सफाई प्रक्रियाओं के माध्यम से नमी को नियंत्रित करें।
अत्यधिक शुष्क नाइट्रोजन नई खुली पाइपिंग, इलास्टोमर्स, रिसीवर सतहों या रखरखाव के दौरान उपयोग होने वाली हवा से नमी सोख सकती है। अपस्ट्रीम ड्रायर निर्माण या उपयोग के बाद डाउनस्ट्रीम सिस्टम को तुरंत नहीं सुखाता है। आवश्यक नमी की स्थिति प्राप्त होने तक नियंत्रित सफाई, शुष्क असेंबली, ढके हुए घटकों और एक निश्चित शुष्क नाइट्रोजन पर्ज का उपयोग करें।
आफ्टरकूलर तभी तरल बना सकते हैं जब प्रवेश करने वाली गैस में पर्याप्त पानी हो, लेकिन उनकी ठंडी सतहें और नालियां संदूषण नियंत्रण बिंदु बनी रहती हैं। नालियों की अखंडता की जांच करें और संघनन प्रणालियों से बैकफ़्लो को रोकें। स्थिर दबाव पर नमी का रुझान देखें और प्रवाह का नमूना लें क्योंकि खराब नमूना तकनीक एक शुष्क प्रणाली को गीला दिखा सकती है या रखरखाव के बाद धीमी रिकवरी को छिपा सकती है।
4. उच्च दबाव वाले घटकों में कणों के निर्माण को न्यूनतम करें।
संपीड़न प्रक्रिया में वाल्व, सील, चेक वाल्व, रेगुलेटर और रिसीवर शामिल होते हैं जो घिसावट से उत्पन्न मलबा या निर्माण अवशेष छोड़ सकते हैं। गैस के संपर्क में आने वाले भागों की सफाई और निरीक्षण निर्दिष्ट करें, संगत सामग्रियों का उपयोग करें और उपकरण जोड़ने से पहले नई पाइपिंग को फ्लश या पर्ज करें। छोटे बोर वाली उच्च दबाव वाली ट्यूबिंग को अनुमोदित उच्च शुद्धता प्रक्रिया का उपयोग करके काटा, डिबर किया, साफ किया और जोड़ा जाना चाहिए।
उपयोग बिंदु पर लगाए जाने वाले फ़िल्टर अंतिम अवरोधक के रूप में उपयोगी होते हैं, लेकिन इन्हें गंदी मुख्य पाइपलाइन के लिए कचरा संग्राहक नहीं बनना चाहिए। दबाव अंतर की निगरानी करें और नियंत्रित स्वच्छ परिस्थितियों में फ़िल्टरों को बदलें। यदि कणों की संख्या बढ़ती है, तो अपस्ट्रीम और डाउनस्ट्रीम नमूनों की तुलना करके फ़िल्टर ब्रेकथ्रू और नए उत्पन्न डाउनस्ट्रीम कणों के बीच अंतर करें।
5. जहां आवश्यक हो, प्रक्रिया की स्वच्छता से उपयोगिता नाइट्रोजन दबाव को अलग करें।
सभी सेमीकंडक्टर नाइट्रोजन उपयोगकर्ताओं को एक ही दबाव या संदूषण स्तर की आवश्यकता नहीं होती है। उच्चतम दबाव वाले उपयोगकर्ता के लिए उपयुक्त आकार का एक केंद्रीय बूस्टर पूरे संयंत्र के लिए ऊर्जा, रिसाव और उच्च दबाव वाले सतह क्षेत्र को बढ़ा सकता है। उपयोगकर्ता के दबाव स्तरों का मानचित्रण करें और जब संदूषण इंटरफेस और अनावश्यक दबाव कम हो, तो स्थानीय बूस्टिंग या समर्पित स्वच्छ शाखाओं पर विचार करें।
रिसीवर की स्थिति भी महत्वपूर्ण है। एक बड़ा रिसीवर दबाव स्थिरता प्रदान करता है, लेकिन इससे सतह बढ़ जाती है जिसे साफ और प्रमाणित करना आवश्यक होता है। महत्वपूर्ण भंडारण से पहले शुद्धता और स्वच्छता की स्वीकृति को प्राथमिकता दें, और संगत पात्र तैयार करें। दूषित स्टार्टअप गैस को पतला करने के लिए भंडारित सामग्री का उपयोग करने से बचें, क्योंकि दूषित रिसीवर को ठीक होने में लंबा समय लग सकता है।
अगला उपयोगी परीक्षण साइट का है। उच्च प्रवाह N2 कंप्रेसर सामग्री, विशेष रूप से जब दबाव, शुद्धता और निरंतर-कार्य आवश्यकताओं का परस्पर संबंध हो। यहाँ क्रॉस-चेक नाइट्रोजन संपीड़न अर्धचालक निर्माण में संदूषण नियंत्रण संबंधी विचारों से जुड़ा है।
6. गैस मार्ग खोलने वाले रखरखाव के बाद पुनः योग्यता प्राप्त करें।
रखरखाव कार्य के दौरान स्वच्छ कार्यक्षेत्र, अनुमोदित दस्ताने और वाइप्स, बंद लाइनें, संगत सील सामग्री और दस्तावेजित घटक हैंडलिंग का उपयोग किया जाना चाहिए। वाल्व, पैकिंग, फिल्टर या ट्यूबिंग को बदलने के बाद, प्रभावित क्षेत्र को शुद्ध करें और प्रक्रिया गुणवत्ता योजना के अनुसार मापदंडों की जाँच करें। केवल यांत्रिक रिसाव परीक्षण से स्वच्छता सिद्ध नहीं होती।
जहां निर्दिष्ट हो, वहां नमी, ऑक्सीजन, फ़िल्टर अंतर दबाव, कंप्रेसर वेंट व्यवहार और प्रमुख कण या हाइड्रोकार्बन जांच के लिए आधारभूत रुझान बनाए रखें। यदि गुणवत्ता में गिरावट आती है, तो रखरखाव, लोड परिवर्तन, कूलर की स्थिति और रिसीवर कार्य के साथ समयरेखा की तुलना करें। संदूषण नियंत्रण तब सबसे प्रभावी होता है जब प्रत्येक विचलन को एक परिभाषित अवरोध और नमूना बिंदु से जोड़ा जा सके।
सेमीकंडक्टर नाइट्रोजन समीक्षा
| वस्तु | इंजीनियरिंग प्रश्न | सत्यापन या निर्णय संकेत |
|---|---|---|
| हाइड्रोकार्बन | क्या स्नेहक या असेंबली अवशेष उत्पाद गैस के साथ संपर्क कर सकते हैं? | गैस निर्माण और रखरखाव सामग्री प्रदूषण बजट के अनुरूप होनी चाहिए। |
| नमी | क्या खुली हुई सतहें या पाइपिंग नाइट्रोजन को पुनः गीला कर सकती हैं? | शुष्क संयोजन, शुद्धिकरण और प्रतिनिधि नमी नमूनाकरण को परिभाषित किया गया है। |
| कण | कौन से गतिशील या निर्मित घटक पदार्थ छोड़ सकते हैं? | स्वच्छ निर्माण और चरणबद्ध निस्पंदन नैदानिक अवरोध प्रदान करते हैं। |
| योग्यता | सेवा के बाद गुणवत्ता कैसे बहाल की जाती है? | रखरखाव के बाद की सफाई और परीक्षण रिलीज प्रक्रिया का हिस्सा हैं। |
| अंतिम आधार को आरएफक्यू, कमीशनिंग फाइल या रखरखाव रिकॉर्ड में दर्ज करें ताकि कोई अन्य इंजीनियर उस निर्णय को दोहरा सके। | ||
परियोजना सत्यापन कार्यपत्रक
दीर्घकालिक विश्वसनीयता के लिए, "उपयोग के महत्वपूर्ण बिंदुओं पर नमी, ऑक्सीजन, हाइड्रोकार्बन और कण सीमाओं को परिभाषित करें" को अति-स्वच्छ गैस पथ के लिए एक आधार रेखा से जोड़ें। जब इंस्टॉलेशन स्वच्छ, स्थिर और स्वस्थ हो, तब उस आधार रेखा को रिकॉर्ड करें, फिर नमी नियंत्रण और परिचालन भार को शामिल करें ताकि बाद के रीडिंग को सामान्यीकृत किया जा सके। समीक्षा अवधारणा "संदूषण बजट परिभाषित करें" में जांच के लिए एक परिभाषित ट्रिगर होना चाहिए, भले ही निरपेक्ष मान अलार्म तक न पहुंचा हो। प्रतिलिपि योग्य आधार रेखा से क्रमिक विचलन अक्सर एक अलग रीडिंग की तुलना में अधिक चेतावनी देता है। यदि प्रक्रिया विन्यास बदलता है, तो भिन्न परिचालन स्थितियों की तुलना करने के बजाय एक नई प्रलेखित आधार रेखा बनाएं।
इंजीनियरिंग समीक्षा के दौरान, कण नियंत्रण और हाइड्रोकार्बन संदूषण से जुड़े भौतिक पथ का पता लगाकर "तेल-मुक्त गैस पथ का चयन" के पीछे की धारणा को चुनौती दें। स्रोत से गंतव्य तक गैस, ऊष्मा, बल, नियंत्रण संकेत या रिसाव मार्ग का अनुसरण करें और परिणाम को प्रभावित करने वाले प्रत्येक घटक की पहचान करें। फिर, निर्णय लेने के वास्तविक बिंदु पर, न कि सबसे सुविधाजनक गेज पर, "उत्पादन, संपीड़न, भंडारण और वितरण के माध्यम से संदूषण अवरोधों और नमूना बिंदुओं का मानचित्रण" पूरा करें। व्यवहार की व्याख्या करने वाले किसी भी दबाव में कमी, तापमान अंतर, नियंत्रण विलंब या निरीक्षण निष्कर्ष को रिकॉर्ड करें। यह पथ-आधारित जाँच स्थानीय मापों को सिस्टम संदर्भ के बिना व्याख्या करने से रोकती है।
“हाइड्रोकार्बन आवश्यकताओं के अनुसार कंप्रेसर गैस-साइड निर्माण और सील सिस्टम का सत्यापन करें” के सत्यापन को भविष्य में किसी भी त्रुटि की जांच के दौरान उपयोगी बनाएं। नमी नियंत्रण, स्टेनलेस ट्यूबिंग, कंप्रेसर की स्थिति, मांग की स्थिति और अवलोकन समय को एक ही रिकॉर्ड में दर्ज करें। उस रिकॉर्ड को डिज़ाइन उद्देश्य “असेंबली के दौरान सतहों की सुरक्षा करें” से जोड़ें और यह नोट करें कि किस ड्राइंग, मैनुअल, प्रक्रिया विनिर्देश या कैलिब्रेटेड टूल ने स्वीकृति स्थापित की है। यदि रीडिंग सामान्य है, तो यह एक संदर्भ बन जाता है। यदि यह असामान्य है, तो सुधारात्मक कार्रवाई को दस्तावेज़ित करें और उसी स्थिति में पुनः परीक्षण करें। सुसंगत रिकॉर्ड दबाव, गति, तापमान सीमा या असंबंधित सेटिंग्स को बढ़ाकर किसी अस्पष्ट समस्या की भरपाई करने के प्रलोभन को कम करते हैं।
जहां इसका प्रभाव दिखाई देता है, वहां सीमा पर "नमी और ऑक्सीजन की निगरानी" की पुष्टि करें। स्रोत पर हाइड्रोकार्बन संदूषण और प्राप्तकर्ता पक्ष पर उपयोग बिंदु पर निस्पंदन का निरीक्षण करें, फिर प्रासंगिक प्रवाह और दबाव स्थिर होने पर "स्वच्छ असेंबली, नियंत्रित पर्ज और उपयुक्त रिसीवर/ट्यूबिंग तैयारी का उपयोग करें" प्रक्रिया पूरी करें। सामान्य प्रक्रिया भिन्नता और उपकरण की खराबी के बीच अंतर करने के लिए पर्याप्त संदर्भ रिकॉर्ड करें। जब सटीक स्वीकृति सीमाएं चयनित मॉडल पर निर्भर करती हैं, तो वर्तमान निर्माता दस्तावेज़ या अनुमोदित परियोजना विनिर्देश का उपयोग करें। केवल इसलिए कि सेवा समान प्रतीत होती है, किसी अन्य कंप्रेसर से मान स्थानांतरित न करें। सीमा-से-सीमा रिकॉर्ड बाद में समस्या निवारण को बहुत तेज़ बनाता है।
इंजीनियरिंग और खरीद टीमों को एक समान आधार पर रखने के लिए, इस आवश्यकता को साइट से संबंधित करें। दवा संयंत्रों के लिए नाइट्रोजन कंप्रेसर जानकारी। यहां की क्रॉस-चेक नाइट्रोजन संपीड़न सेमीकंडक्टर निर्माण में संदूषण नियंत्रण संबंधी विचारों से जुड़ी है।
“फिल्ट्रेशन स्थापित करें और उसका रखरखाव करें ताकि प्रतिबंध और कण लोडिंग का निदान किया जा सके” प्रक्रिया को कारण, प्रतिक्रिया और स्वीकृति का दस्तावेजीकरण करके पूरा करें। “उपयोग बिंदु पर फिल्ट्रेशन का प्रबंधन करें” से शुरू करें, स्टेनलेस ट्यूबिंग के अपेक्षित व्यवहार की पहचान करें, और एक दूसरा अवलोकन चुनें जिसमें अति-स्वच्छ गैस पथ शामिल हो जो उसी निष्कर्ष की स्वतंत्र रूप से पुष्टि कर सके। सुरक्षा उपकरणों को बायपास किए बिना या स्वीकृत ऑपरेटिंग रेंज से अधिक किए बिना जांच करें। यदि दोनों संकेत मेल नहीं खाते हैं, तो यह तय करने से पहले कि किस घटक को मरम्मत की आवश्यकता है, उपकरण की सटीकता, वाल्व की स्थिति, दबाव हानि, संदूषण, रिसाव या नियंत्रण तर्क की जांच करें। स्वतंत्र पुष्टि तब महत्वपूर्ण होती है जब शटडाउन या प्रतिस्थापन महंगा हो।
“रखरखाव के बाद योग्यता जांच” समीक्षा मद को एक रिकॉर्ड किए गए स्वीकृति चरण में बदलें। यह पहचानें कि उपयोग बिंदु पर निस्पंदन कहाँ देखा जाता है, उस समय परिचालन स्थिति क्या है, और कौन सी अपस्ट्रीम या डाउनस्ट्रीम स्थिति कण नियंत्रण को प्रभावित कर सकती है। आधार स्थापित करने के लिए उपयोग किए गए उपकरण, ड्राइंग, डेटाशीट या भौतिक निरीक्षण को रिकॉर्ड करें। फिर “महत्वपूर्ण घटकों को खोलने वाले किसी भी रखरखाव के बाद गैस पथ की पुनः योग्यता जांच करें” क्रिया को दोहराने योग्य स्थिति में करें। यदि परिणाम अपेक्षित व्यवहार से मेल नहीं खाता है, तो विसंगति की व्याख्या होने तक अगले डिज़ाइन या रखरखाव संबंधी निर्णय को रोकें। इससे दूसरे इंजीनियर को स्मृति या किसी अलिखित धारणा पर निर्भर किए बिना जांच को दोहराने के लिए पर्याप्त संदर्भ मिल जाता है।
सुरक्षा और सत्यापन सीमा
उच्च दाब वाली नाइट्रोजन रासायनिक रूप से निष्क्रिय होने पर भी संचित ऊर्जा और ऑक्सीजन की कमी का खतरा पैदा करती है। सफाई प्रक्रियाओं में दाब पृथक्करण या सुरक्षित वेंटिंग को नजरअंदाज नहीं किया जाना चाहिए। सेमीकंडक्टर संयंत्र के अनुमोदित गैस गुणवत्ता, सामग्री, संयोजन, शुद्धिकरण और योग्यता मानकों का पालन करें। संदूषक की सटीक सीमाएँ और स्वीकृति विधियाँ प्रक्रिया-विशिष्ट होती हैं और उपकरण स्वामी और साइट विनिर्देशों से प्राप्त की जानी चाहिए।
उच्च शुद्धता वाले नाइट्रोजन की जाँच सूची
- उपयोग के महत्वपूर्ण बिंदुओं पर नमी, ऑक्सीजन, हाइड्रोकार्बन और कणों की सीमाएं निर्धारित करें।
- उत्पादन, संपीड़न, भंडारण और वितरण के माध्यम से संदूषण अवरोधों और नमूना बिंदुओं का मानचित्रण करें।
- कंप्रेसर के गैस-साइड निर्माण और सील सिस्टम की हाइड्रोकार्बन आवश्यकताओं के अनुसार जांच करें।
- स्वच्छ असेंबली, नियंत्रित पर्ज और उपयुक्त रिसीवर/ट्यूबिंग तैयारी का उपयोग करें।
- फ़िल्टरेशन प्रणाली स्थापित करें और उसका रखरखाव करें ताकि रुकावट और कण भार का निदान किया जा सके।
- किसी भी रखरखाव कार्य के बाद, जिसमें महत्वपूर्ण घटकों को खोला जाता है, गैस मार्ग की पुनः जांच करें।
अर्धचालक नाइट्रोजन से संबंधित प्रश्न
क्या तेल-मुक्त संपीड़न से हाइड्रोकार्बन का खतरा समाप्त हो जाता है?
यह स्नेहक के एक महत्वपूर्ण स्रोत को हटा देता है, लेकिन असेंबली सामग्री, अपस्ट्रीम उपकरण, रिसीवर, सील, पाइपिंग और रखरखाव अभी भी हाइड्रोकार्बन का प्रवेश करा सकते हैं।
ड्राई कंप्रेसर ओवरहाल के बाद नमी क्यों बढ़ सकती है?
बाहरी हवा के संपर्क में आने वाली पाइपिंग और पुर्जे नमी सोख सकते हैं। नमी की रिकवरी के लिए नियंत्रित शुष्क गैस पर्ज और प्रतिनिधि माप की आवश्यकता होती है, न कि केवल ड्रायर को पुनः चालू करने की।
क्या सभी अर्धचालक नाइट्रोजन को संयंत्र के उच्चतम दबाव तक संपीड़ित किया जाना चाहिए?
जरूरी नहीं। दबाव स्तरों को अलग करने से ऊर्जा, रिसाव और उच्च दबाव संदूषण इंटरफेस को कम किया जा सकता है, बशर्ते उपयोगकर्ता की आवश्यकताएं उस आर्किटेक्चर का समर्थन करती हों।
स्वच्छ गैस सिद्धांत
सेमीकंडक्टर सेवा के लिए, संदूषण बजट निर्धारित करने के बाद ही कंप्रेसर का चयन करें। भंडारण और वितरण के दौरान स्वच्छ सतहों, नमी, कणों और हाइड्रोकार्बन से सुरक्षा प्रदान करें, और फिर रखरखाव के बाद कंप्रेसर की पुनः योग्यता को एक सामान्य कार्य बनाएं, न कि कोई असाधारण प्रयोगशाला अभ्यास।
